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CHIMICA E PROCESSI PER LA MICROELETTRONICA

Corso Ingegneria Elettronica
Curriculum Curriculum unico
Orientamento Orientamento unico
Anno Accademico 2014/2015
Crediti 6
Settore Scientifico Disciplinare CHIM/07
Anno Primo anno
Unità temporale Secondo semestre
Ore aula 48
Attività formativa Attività formative affini ed integrative

Canale unico

Docente ANDREA DONATO
Obiettivi Il corso si propone di finalizzare la cultura chimico-fisica acquisita dallo studente nei corsi propedeutici e di fornire le nozioni complementari, atte alla comprensione dei processi tecnologici di lavorazione dei materiali semiconduttori e di produzione dei dispositivi elettronici. Fornire elementi di fattibilità tecnologica dei dispositivi elettronici.
Il corso consente allo studente di comprendere i processi tecnologici che vanno dalla crescita dei cristalli ai processi litografici, che rappresentano i passi fondamentali per la realizzazione dei dispositivi elettronici a semiconduttore. Il programma sviluppa inoltre uno studio sui materiali polimerici usati per l’elettronica e per l’optoelettronica con la fabbricazione delle guide d’onda.
Programma Programma dettagliato
I semiconduttori. La struttura cristallina. Legami covalenti. Bande di energia. Concentrazione dei portatori intrinseci. Donatori e accettatori.
Processi tecnologici di lavorazione di materiali semiconduttori. Tecnologia microelettronica del silicio e del GaAs. Crescita del cristallo dal materiale fuso. Lavorazione della fetta e caratterizzazione del materiale. Epitassia da fase vapore. Epitassia da fase liquida. Epitassia da fasci molecolari. Ossidazione termica. Deposizione dielettrica. Deposizione di silicio policristallino. Metallizzazione.
Fondamenti della teoria della diffusione. Processi legati alla diffusione. Distribuzione e profondità media di ioni impiantati. Disordine reticolare e ricottura. Processi collegati all’impiantazione.
Fotolitografia. Circuiti ibridi a film spesso. Circuiti ibridi a film sottile. Tecniche di deposizione di film sottili. Tecnologia dei dispositivi elettronici integrati su silicio. Micromachining. Deposizione in plasma.
Richiami generali di chimica organica. Metodi di preparazione, caratteristiche e reattività dei polimeri. I materiali polimerici per l’elettronica. Materiali per optoelettronica. Fabbricazione di guide d’onda. I polimeri conduttori. I polimeri semiconduttori.
Caratterizzazione dei materiali semiconduttori: microscopia elettronica e microanalisi, caratterizzazioni strutturali, elettriche ed ottiche.
Testi docente Testi consigliati
G. Soncini, Tecnologie microelettroniche, Ed. Boringhieri, 1985
S. M. Sze, Dispositivi a semiconduttore: Comportamento fisico e tecnologia, Ed. Hoepli , 1991
S. Wolf, R. Tauber, Silicon Processing, Lattice Press, 1986
H.Hart , CHIMICA ORGANICA (Ed. Zanichelli)
Erogazione tradizionale
Erogazione a distanza No
Frequenza obbligatoria No
Valutazione prova scritta No
Valutazione prova orale
Valutazione test attitudinale No
Valutazione progetto No
Valutazione tirocinio No
Valutazione in itinere No
Prova pratica No

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